走査透過電子顕微鏡における弾性・非弾性散乱信号のオンライン・ディジタル演算処理

• Material Type: 文書・図像類
• Title: 走査透過電子顕微鏡における弾性・非弾性散乱信号のオンライン・ディジタル演算処理
• Author/Editor: 日比野, 倫夫; 下山, 宏; 杉山, せつ子; 花井, 孝明
• Author Heading: 日比野, 倫夫; 下山, 宏; 杉山, せつ子; 花井, 孝明
• Publication Date: 1990-03
• Publication Date (W3CDTF): 1990-03
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 走査透過電子顕微鏡; 非弾性散乱電子; 特殊コントラスト; 電子信号間演算; 弾性散乱電子; ノイズ除去; ディジタル処理システム; Specific contrast; Digital processing system; Noise elimination; Inelastically scattered electron; SN比; 非弾性散乱; 量子検出効率; Electron signal manipulation; デコンボリュ-ション処理; 弾性散乱; Elastically scattered electron; Scanning transmission electron microscopy
• Target Audience: 一般
• Note (General): 科学研究費補助金 研究種目:試験研究 課題番号:63850078 研究代表者:日比野 倫夫 研究期間:1988-1989年度
• Format (IMT): application/pdf
• Source: 63850078.pdf （fulltext）; https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/11092/files/63850078.pdf
• Access Restrictions: インターネット公開
• Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）; https://irdb.nii.ac.jp
• Original Data Provider (Database): 名古屋大学 : 名古屋大学学術機関リポジトリ

• Summary, etc.: 1.電子検出法の改善 STEM(走査透過電子顕微鏡)における電子検出器として従来使われているP46粉末蛍光体について、100kVの加速圧電圧において最高感度を与える厚さを調べた結果、0.07mm厚さの蛍光体が最適であり、高いDQEが得られることを示した。また、1mm厚さのYAG単結晶を使用すれば、約...