種結晶成長法における転位密度の数値解析

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Summary, etc.：: 太陽電池用シリコン結晶の成長において、転位は結晶の品質を低下させる大きな要因である。よって、シリコン結晶の品質の向上には、転位密度の精密な制御が重要である。今回、代表的な結晶成長方法の1つである種結晶成長法において、異なる結晶方位を持つ種結晶を用いた場合における転位密度の3次元数値解析を行った。その...

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Material Type: 文書・図像類
Title: 種結晶成長法における転位密度の数値解析
Author/Editor: 中野, 智
Author Heading: 中野, 智ナカノ, サトシ
Publication, Distribution, etc.: 九州大学応用力学研究所
Publication Date: 2019-07
Publication Date (W3CDTF): 2019-07
Periodical title: 九州大学応用力学研究所技術室技術室報告
No. or year of volume/issue: 1
Volume: 1
Pages: 8-14
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 種結晶成長法
結晶成長方位
転位
数値解析
Target Audience: 一般
DOI: 10.15017/2329116
Access Restrictions: インターネット公開
Periodical Title (NCID): AA12867474
https://ci.nii.ac.jp/ncid/AA12867474
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 九州大学 : 九州大学学術情報リポジトリ