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文書・図像類

シリコンナノ構造酸化の窒素添加による制御

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シリコンナノ構造酸化の窒素添加による制御

Material type
文書・図像類
Author
植松, 真司ほか
Publisher
-
Publication date
2008
Material Format
Digital
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

type:textシリコンナノ構造の酸化において、酸化膜に窒素を添加することにより、酸化形状の制御、および、酸化誘起歪・応力を変調できることを明らかにした。酸化膜への窒素添加の効果を原子レベル理論計算、マクロレベルシミュレーション計算で予測し、ナノ構造酸窒化実験を行った。窒素をシリコン・酸化膜界面へ...

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Digital

Material Type
文書・図像類
Author/Editor
植松, 真司
影島, 博之
渡邉, 孝信
白石, 賢二
伊藤, 公平
秋山, 亨
Publication Date
2008
Publication Date (W3CDTF)
2008
Alternative Title
シリコン ナノ コウゾウ サンカ ノ チッソ テンカ ニ ヨル セイギョ
shirikon nano kozo sanka no chisso tenka ni yoru seigyo
Control of Silicon Nanostructure Oxidation by Nitrogen Doping
Periodical title
科学研究費補助金研究成果報告書
Text Language Code
jpn