インチスケールダイヤモンドウェハ開発のための基盤研究

Material type: 文書・図像類

Author: 德田, 規夫ほか

Publisher: -

Publication date: 2017-05-09

Material Format: Digital

Capacity, size, etc.: -

NDC: -

View All

Notes on use

Note (General)：: 金沢大学ナノマテリアル研究所本研究は、超省エネ化に資する次世代ダイヤモンドパワーデバイス実現のために必要なダイヤモンドウェハの大面積（２インチ以上）・低コスト化に関する基盤技術の開発を目的とした。その結果、ダイヤモンドヘテロエピタキシャル成長用基板としてNiの有効性を示した。具体的には、多結晶Ni基...

Related materials as well as pre- and post-revision versions

https://kaken.nii.ac.jp/search/?qm=80462860

https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-26600096/

https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-26600096/26600096seika/

Search by Bookstore

Holdings of Libraries in Japan

This page shows libraries in Japan other than the National Diet Library that hold the material.

List of Cooperating Institutions and Databases

Please contact your local library for information on how to use materials or whether it is possible to request materials from the holding libraries.

other

Kanazawa University Repository for Academic Resources
Digital
You can check the holdings of institutions and databases with which 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ） is linked at the site of 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）.
Kanazawa University Repository for Academic Resources

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Digital

Material Type: 文書・図像類
Title: インチスケールダイヤモンドウェハ開発のための基盤研究
Author/Editor: 德田, 規夫
Tokuda, Norio
Author Heading: 德田, 規夫
Tokuda, Norio
Publication Date: 2017-05-09
Publication Date (W3CDTF): 2017-05-09
Alternative Title: Basic study for development of inch-scale diamond wafers
Periodical title: 平成28(2016)年度科学研究費補助金挑戦的萌芽研究研究成果報告書 = 2016 Fiscal Year Final Research Report
No. or year of volume/issue: 2014-04-01 - 2017-03-31
Volume: 2014-04-01 - 2017-03-31
Pages: 5p.-
Text Language Code: jpn
Subject Heading: ダイヤモンド
結晶成長
Target Audience: 一般
Note (General): 金沢大学ナノマテリアル研究所
本研究は、超省エネ化に資する次世代ダイヤモンドパワーデバイス実現のために必要なダイヤモンドウェハの大面積（２インチ以上）・低コスト化に関する基盤技術の開発を目的とした。その結果、ダイヤモンドヘテロエピタキシャル成長用基板としてNiの有効性を示した。具体的には、多結晶Ni基板上に多結晶ダイヤモンド膜を成長することに成功し、かつダイヤモンド/Ni界面に析出したグラファイトにより、そのダイヤモンド膜は自然剥離により自立化可能であることを示した。
The purpose of this study has been to develop the fundamental technologies about a large-area and low-cost fabrication of diamond wafers for the realization of next-generation diamond power devises. We report that freestanding diamond films were fabricated by a new self-separation method. Thick poly-crystalline diamond films were grown on poly-crystalline Ni substrates by microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition after the substrates were saturated with carbon via a saturation process using a carbon solid solution. This saturation process suppressed the erosion of diamond nuclei on the Ni substrates. During the cooling process after diamond growth, the carbon atoms dissolved in the Ni substrates became supersaturated and precipitated as graphite interlayers at the diamond films/Ni interfaces. The graphite interlayers caused the thick diamond films to spontaneously separate from the Ni substrates without cracking, allowing the Ni substrates to be reused.
研究課題/領域番号:26600096, 研究期間(年度):2014-04-01 - 2017-03-31
DOI: 10.24517/00052821
Source: https://kanazawa-u.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=46489&item_no=1&attribute_id=26&file_no=1
https://kanazawa-u.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=46489&item_no=1&attribute_id=26&file_no=1
Access Restrictions: 限定公開
Rights (production): CC BY-NC-ND
Related Material: https://kaken.nii.ac.jp/search/?qm=80462860
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-26600096/
https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-26600096/26600096seika/
Data Provider (Database): 国立情報学研究所 : 学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）
https://irdb.nii.ac.jp
Original Data Provider (Database): 金沢大学 : 金沢大学学術情報リポジトリKURA