文書・図像類

先端グラフェンNEMS技術を基盤とする革新的熱フォノンエンジニアリング素子の創製

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先端グラフェンNEMS技術を基盤とする革新的熱フォノンエンジニアリング素子の創製

Material type
文書・図像類
Author
水田, 博
Publisher
-
Publication date
2018-06-05
Material Format
Digital
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General)：

原子層材料グラフェンNEMS（ナノ電子機械システム）技術と、ビーム径～0.3 nmの収束He+ビームによってグラフェンを直接ミリング加工するシングルナノメータ加工技術を融合させ、宙吊りにした両持ちグラフェン梁（長さ・幅100 nm～1 ミクロンスケール）上に直径3 ～4 nmのナノ孔の２次元アレイ（...

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Digital

Material Type
文書・図像類
Title
先端グラフェンNEMS技術を基盤とする革新的熱フォノンエンジニアリング素子の創製
Author/Editor
水田, 博
Author Heading
水田, 博
Publication Date
2018-06-05
Publication Date (W3CDTF)
2018-06-05
Alternative Title
Revolutionary heat phonon engineering based on advanced graphene NEMS technology
Periodical title
科学研究費助成事業研究成果報告書
Pages
1-6
Text Language Code
jpn