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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ヒョウメン カッセイカホウ ニ ヨル シリコン ウェハ ノ ジョウオン セツゴウ
- Author/Editor
- 高木秀樹 [著]
- Series Title
- Author/Editor (Series Title)
- 工業技術院機械技術研究所 編集
- Title Heading
- 表面活性化法によるシリコンウェハの常温接合 ヒョウメン カッセイカホウ ニ ヨル シリコン ウェハ ノ ジョウオン セツゴウ
- Author Heading
- 高木, 秀樹 タカギ,ヒデキ工業技術院機械技術研究所 コウギョウ, ギジュツイン, キカイ, ギジュツ, ケンキュウジョ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2000.12