電子材料(10 (別冊))

• Material Type: 雑誌
• ISSN: 0387-0774
• ISSN-L: 0387-0774
• Title: 電子材料
• Title Transcription: デンシ ザイリョウ
• Volume: (10 (別冊))
• Author Heading: 工業調査会 コウギョウ チョウサカイ ( 00288100 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 工業調査会
• Publication Date: 1990-10
• Publication Date (W3CDTF): 1990-10
• Year and volume of publication: 1巻1号 (1962年6月)-49巻9号 (2010年9月)
• Size: 26cm
• Alternative Title: 液晶ディスプレイ技術 エキショウ ディスプレイ ギジュツ
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: ZN33
• Note (General): 本タイトル等は最新号による; 別冊とも
• DOI: 10.11501/3280642; https://doi.org/10.11501/3280642
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3280642; https://dl.ndl.go.jp/pid/3280642
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• Producer: 国立国会図書館
• Production year (W3CDTF): 2011-03-31
• Date Accepted (W3CDTF): 2012-01-27T17:36:23+09:00
• Format (IMT): image/jp2
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Year and volume of holding: 1巻1号 (1962年6月)-49巻9号 (2010年9月)
• Call No.: Z16-225
• Original Material (JPNO): 00015919
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/3380986; https://dl.ndl.go.jp/pid/3380986
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

Table of Contents

1.総論--超LSIプロセス技術の最新動向

ウルトラクリーン化に貢献する電解複合研磨技術

2.製造装置編--酸化膜形成装置

CVD･エピタキシャル装置

拡散装置