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Provided by:国立国会図書館雑誌記事索引Link to Help Page
24(2) 2006.3・4
- 特集 半導体製造技術
p.57~72
- 境界潤滑下のSi3N4およびSiCの摩擦低減剤の効果
p.73~78
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 雑誌
- Title
- Title Transcription
- ザイリョウ ギジュツ
- Volume
- 24巻2号 2006年3月/4月
- Author Heading
- 材料技術研究協会 ザイリョウ ギジュツ ケンキュウ キョウカイ ( 00309617 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2006
- Publication Date (W3CDTF)
- 2006
- Note (Publication, distribution, etc.)
- 出版地の変更あり出版者変遷: 総合技術出版 (v. 1, no. 1-6巻1号)
- Year and volume of publication
- v. 1, no. 1 = 1号 (1983年11月)-v. 2, no. 5 = 7号 (1984年5月) ; v. 2, no. 6 (1984年6月)-vol. 38, no. 6 (2020年11/12月) ; vol. 39 (January-February 2021)-