「プラズマプロセシング研究会」プロシーディングス 20巻 2003年1月

「プラズマプロセシング研究会」プロシーディングス

20巻 2003年1月

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Material Type: 雑誌
Title: 「プラズマプロセシング研究会」プロシーディングス
Title Transcription: プラズマプロセシングケンキュウカイプロシーディングス
Volume: 20巻 2003年1月
Author/Editor: プラズマプロセシング研究会現地実行委員会編
Author Heading: 応用物理学会オウヨウブツリガッカイ ( 00281497 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 京都 : 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
Publication Date: 2003
Publication Date (W3CDTF): 2003
Year and volume of publication: 7回 (平成2年1月25/26日)-
Size: 30cm
Alternative Title: Proceedings of the Symosium on Plasma Processing Proceedings of the Symosium on Plasma Processing
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: ZM35
Note (General): 本タイトル等は最新号による
出版地, 大きさの変更あり
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Z15-676
Replaces: 継続前 : 「プラズマプロセシング研究会」資料 / 応用物理学会プラズマエレクトロニクス研究会事務局編
https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000074693
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000074697
http://id.ndl.go.jp/bib/000000074697
Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition