SEAJ quarterly 21号-32号 1991年-1993年 (Win.-Aut.)

SEAJ quarterly = 日本半導体製造装置協会会報

21号-32号 1991年-1993年 (Win.-Aut.)

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Material Type: 雑誌
ISSN: 0918-5224
ISSN-L: 0918-5224
Title: SEAJ quarterly
Title Transcription: SEAJ quarterly
Volume: 21号-32号 1991年-1993年 (Win.-Aut.)
Author Heading: 日本半導体製造装置協会ニホンハンドウタイセイゾウソウチキョウカイ ( 00293650 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : 日本半導体製造装置協会
Publication Date: 1991-1993
Publication Date (W3CDTF): 1991-1993
Year and volume of publication: 14 (spring 1989)-no. 41 (winter 1996)
Size: 26cm
Alternative Title: 日本半導体製造装置協会会報ニホンハンドウタイセイゾウソウチキョウカイカイホウ
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: ZN33
Note (General): 本タイトル等は最新号による
別冊あり
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Z16-2550
Replaces: 継続前
https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000083687
Continues: 継続後 : SEAJ journal (ISSN:1342-0224)
https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000099079
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000083686
http://id.ndl.go.jp/bib/000000083686
National Bibliography No. (JPNO): 00089364
Cataloging Rule: National Diet Library Cataloging Rules for Serials
Bibliographic Record Category (NDL): 131