日本半導体製造装置協会会報

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: 日本半導体製造装置協会会報
• タイトルよみ: ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ カイホウ
• 著者標目: 日本半導体製造装置協会 ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ ( 00293650 )典拠
• 出版事項: 東京 : 日本半導体製造装置協会
• 出版年月日等: 1986-[1989]
• 出版年（W3CDTF）: 1986; 1989
• 刊行状態: 刊行終了
• 刊行頻度: 季刊
• 刊行巻次・年月次: 1号(1986年冬)-[13号(1989年冬)]
• 数量: 冊
• 大きさ: 26cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZN33
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: 1号(1986年冬)-11号(1988年夏)
• 請求記号: Z16-2550
• 改題後: 継続後 : SEAJ quarterly; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000083686
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000083687; http://id.ndl.go.jp/bib/000000083687
• 全国書誌番号: 00089365
• 目録規則: 国立国会図書館逐次刊行物目録規則
• 整理区分コード: 131