SEAJ quarterly

SEAJ quarterly = 日本半導体製造装置協会会報

国立国会図書館請求記号: Z16-2550
国立国会図書館書誌ID: 000000083686

巻号一覧

33号-41号 1994年-1996年 (Win.-Win.)

21号-32号 1991年-1993年 (Win.-Aut.)

14号-20号 1989年-1990年 (Spr.-Aut.)

資料種別: 雑誌

出版者: 日本半導体製造装置協会

出版年: 1989-1996

刊行頻度: 季刊

資料形態: 紙

刊行: 刊行終了

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資料に関する注記

所蔵巻次等：: 14 (spring 1989)-no. 41 (winter 1996)

刊行巻次：: 14 (spring 1989)-no. 41 (winter 1996)

一般注記：: 本タイトル等は最新号による別冊あり

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書誌情報

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資料種別: 雑誌
ISSN: 0918-5224
ISSN-L: 0918-5224
タイトル: SEAJ quarterly
タイトルよみ: SEAJ quarterly
著者標目: 日本半導体製造装置協会ニホンハンドウタイセイゾウソウチキョウカイ ( 00293650 )典拠
出版事項: 東京 : 日本半導体製造装置協会
出版年月日等: 1989-1996
出版年（W3CDTF）: 1989
1996
刊行状態: 刊行終了
刊行頻度: 季刊
刊行巻次・年月次: 14 (spring 1989)-no. 41 (winter 1996)
数量: 冊
大きさ: 26cm
並列タイトル等: 日本半導体製造装置協会会報ニホンハンドウタイセイゾウソウチキョウカイカイホウ
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZN33
一般注記: 本タイトル等は最新号による
別冊あり
所蔵機関: 国立国会図書館
所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: 14 (spring 1989)-no. 41 (winter 1996)
請求記号: Z16-2550
改題前: 継続前
https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000083687
改題後: 継続後 : SEAJ journal (ISSN:1342-0224)
https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000099079
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000000083686
http://id.ndl.go.jp/bib/000000083686
全国書誌番号: 00089364
目録規則: 国立国会図書館逐次刊行物目録規則
整理区分コード: 131