SEAJ quarterly = 日本半導体製造装置協会会報

• 資料種別: 雑誌
• ISSN: 0918-5224
• ISSN-L: 0918-5224
• タイトル: SEAJ quarterly
• タイトルよみ: SEAJ quarterly
• 巻次・部編番号: 33号-41号 1994年-1996年 (Win.-Win.)
• 著者標目: 日本半導体製造装置協会 ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ ( 00293650 )典拠
• 出版事項: 東京 : 日本半導体製造装置協会
• 出版年月日等: 1994-1996
• 出版年（W3CDTF）: 1994-1996
• 刊行巻次・年月次: 14 (spring 1989)-no. 41 (winter 1996)
• 大きさ: 26cm
• 並列タイトル等: 日本半導体製造装置協会会報 ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ カイホウ
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZN33
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による; 別冊あり
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-2550
• 改題前: 継続前; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000083687
• 改題後: 継続後 : SEAJ journal (ISSN:1342-0224); https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000099079
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000083686; http://id.ndl.go.jp/bib/000000083686
• 全国書誌番号: 00089364
• 目録規則: 国立国会図書館逐次刊行物目録規則
• 整理区分コード: 131