日本半導体製造装置協会会報

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1号-11号 1986年-1988年 (冬-夏/欠12,13)

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Material Type: 雑誌
Title: 日本半導体製造装置協会会報
Title Transcription: ニホンハンドウタイセイゾウソウチキョウカイカイホウ
Author Heading: 日本半導体製造装置協会ニホンハンドウタイセイゾウソウチキョウカイ ( 00293650 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: 東京 : 日本半導体製造装置協会
Publication Date: 1986-[1989]
Publication Date (W3CDTF): 1986
1989
Publication status: 刊行終了
Publication frequency: 季刊
Year and volume of publication: 1号(1986年冬)-[13号(1989年冬)]
Extent: 冊
Size: 26cm
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: ZN33
Note (General): 本タイトル等は最新号による
Holding library: 国立国会図書館
Year and volume of holding: 1号(1986年冬)-11号(1988年夏)
Call No.: Z16-2550
Continues: 継続後 : SEAJ quarterly
https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000083686
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000083687
http://id.ndl.go.jp/bib/000000083687
National Bibliography No. (JPNO): 00089365
Cataloging Rule: National Diet Library Cataloging Rules for Serials
Bibliographic Record Category (NDL): 131