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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- コウシュウハ スパッタリング ニ ヨル ハクマク ケイセイ ト MOS ソシ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 谷内利明 [著]
- Author Heading
- 谷内, 利明 ヤチ, トシアキ
- Extent
- 冊
- Degree grantor/type
- 静岡大学
- Date Granted
- 昭和61年9月30日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1986
- Dissertation Number
- 乙第14号