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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ゲッタリング ニ ヨル シリコン キバン ノ コウヒンシツカ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 活田健治 [著]
- Author Heading
- 活田, 健治 イクタ, ケンジ
- Extent
- 冊
- Degree grantor/type
- 九州大学
- Date Granted
- 昭和61年12月2日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1986
- Dissertation Number
- 乙第3840号