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国立国会図書館デジタルコレクション

シリコン半導体装置の電極形成プロセス改良に関する研究

Call No. (NDL): UT51-62-D522
Bibliographic ID of National Diet Library: 000000176762
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13039927

Material type: 博士論文

Author: 加藤弘 [著]

Publisher: -

Publication date: -

Material Format: Paper・Digital

Capacity, size, etc.: -

Name of awarding university/degree: 東北大学,工学博士

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper Digital

Material Type: 博士論文
Title: シリコン半導体装置の電極形成プロセス改良に関する研究
Title Transcription: シリコンハンドウタイソウチノデンキョクケイセイプロセスカイリョウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 加藤弘 [著]
Author Heading: 加藤, 弘カトウ, ヒロシ
Extent: 冊
Degree grantor/type: 東北大学
Date Granted: 昭和62年2月12日
Date Granted (W3CDTF): 1987
Dissertation Number: 乙第4447号
Degree Type: 工学博士
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
NDLC: UT51
UT31
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-62-D522
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000176762
http://id.ndl.go.jp/bib/000000176762
Bibliographic Record Category (NDL): 213