超LSI製造プロセスにおけるプラズマおよび光化学反応を用いたドライエッチングに関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 超LSI製造プロセスにおけるプラズマおよび光化学反応を用いたドライエッチングに関する研究
• Title Transcription: チョウLSI セイゾウ プロセス ニ オケル プラズマ オヨビ コウカガク ハンノウ オ モチイタ ドライ エッチング ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 岡野晴雄 [著]
• Author Heading: 岡野, 晴雄 オカノ, ハルオ
• Extent: 冊
• Degree grantor/type: 早稲田大学
• Date Granted: 昭和62年2月19日
• Date Granted (W3CDTF): 1987
• Dissertation Number: 乙第598号
• Degree Type: 工学博士
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51; UT31
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-62-K146
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000176995; http://id.ndl.go.jp/bib/000000176995
• Bibliographic Record Category (NDL): 213