低抵抗高融点金属シリサイドによる半導体大規模集積回路(LSI)の高速化・高性能化に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 低抵抗高融点金属シリサイドによる半導体大規模集積回路(LSI)の高速化・高性能化に関する研究
• Title Transcription: テイテイコウ コウユウテン キンゾク シリサイド ニ ヨル ハンドウタイ ダイキボ シュウセキ カイロ ( LSI ) ノ コウソクカ コウセイノウカ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 岡本龍郎 [著]
• Author Heading: 岡本, 龍郎 オカモト, タツオ
• Extent: 冊
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 昭和62年3月20日
• Date Granted (W3CDTF): 1987
• Dissertation Number: 乙第4138号
• Degree Type: 工学博士
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51; UT31
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-62-E528
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000178723; http://id.ndl.go.jp/bib/000000178723
• Bibliographic Record Category (NDL): 213