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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- イオン ビーム スパッタリング カテイ ノ レーザー ケイコウ ブンコウホウ ニ ヨル ケンキュウ
- Author/Editor
- 松田良信 [著]
- Author Heading
- 松田, 良信 マツダ, ヨシノブ
- Extent
- 冊
- Degree grantor/type
- 九州大学
- Date Granted
- 昭和62年3月27日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1987
- Dissertation Number
- 甲第2172号