多結晶シリコン膜の電気伝導機構および熱処理効果の研究

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国立国会図書館デジタルコレクション

多結晶シリコン膜の電気伝導機構および熱処理効果の研究

Call No. (NDL): UT51-62-F387
Bibliographic ID of National Diet Library: 000000179308
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13041129

Material type: 博士論文

Author: 齋藤洋司 [著]

Publisher: -

Publication date: -

Material Format: Paper・Digital

Capacity, size, etc.: -

Name of awarding university/degree: 慶應義塾大学,工学博士

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Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper Digital

Material Type: 博士論文
Title: 多結晶シリコン膜の電気伝導機構および熱処理効果の研究
Title Transcription: タケッショウシリコンマクノデンキデンドウキコウオヨビネツショリコウカノケンキュウ
Author/Editor: 齋藤洋司 [著]
Author Heading: 齋藤, 洋司サイトウ, ヨウジ
Extent: 冊
Degree grantor/type: 慶應義塾大学
Date Granted: 昭和62年3月31日
Date Granted (W3CDTF): 1987
Dissertation Number: 甲第842号
Degree Type: 工学博士
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
NDLC: UT51
UT31
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-62-F387
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000179308
http://id.ndl.go.jp/bib/000000179308
Bibliographic Record Category (NDL): 213