Deposition of boron and boron nitride films by plasma assisted chemical transport processes

• Material Type: 博士論文
• Title: Deposition of boron and boron nitride films by plasma assisted chemical transport processes
• Author/Editor: 小松正二郎 [著]
• Author Heading: 小松, 正二郎 コマツ, ショウジロウ
• Extent: 冊
• Alternative Title: プラズマ化学輸送法によるホウ素および窒化ホウ素薄膜の堆積に関する研究 プラズマ カガク ユソウホウ ニ ヨル ホウソ オヨビ チッカ ホウソ ハクマク ノ タイセキ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 昭和61年3月29日
• Date Granted (W3CDTF): 1986
• Dissertation Number: 甲第7077号
• Degree Type: 工学博士
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51; UT31
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-62-G235
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000188893; http://id.ndl.go.jp/bib/000000188893
• Bibliographic Record Category (NDL): 213