階層的画像処理を用いたマスクパターン検査の自動化に関する研究

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国立国会図書館デジタルコレクション

階層的画像処理を用いたマスクパターン検査の自動化に関する研究

Call No. (NDL): UT51-62-H520
Bibliographic ID of National Diet Library: 000000191813
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/13042236

Material type: 博士論文

Author: 後藤宣之 [著]

Publisher: -

Publication date: -

Material Format: Paper・Digital

Capacity, size, etc.: -

Name of awarding university/degree: 東京大学,工学博士

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper Digital

Material Type: 博士論文
Title: 階層的画像処理を用いたマスクパターン検査の自動化に関する研究
Title Transcription: カイソウテキガゾウショリオモチイタマスクパターンケンサノジドウカニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 後藤宣之 [著]
Author Heading: 後藤, 宣之ゴトウ, ノブユキ
Extent: 冊
Degree grantor/type: 東京大学
Date Granted: 昭和61年3月20日
Date Granted (W3CDTF): 1986
Dissertation Number: 乙第7793号
Degree Type: 工学博士
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
NDLC: UT51
UT31
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-62-H520
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000191813
http://id.ndl.go.jp/bib/000000191813
Bibliographic Record Category (NDL): 213