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博士論文

階層的画像処理を用いたマスクパターン検査の自動化に関する研究

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階層的画像処理を用いたマスクパターン検査の自動化に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-62-H520
Bibliographic ID of National Diet Library
000000191813
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/13042236
Material type
博士論文
Author
後藤宣之 [著]
Publisher
-
Date granted
昭和61年3月20日
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Degree grantor and degree
東京大学,工学博士
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博士論文

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
階層的画像処理を用いたマスクパターン検査の自動化に関する研究
Title Transcription
カイソウテキ ガゾウ ショリ オ モチイタ マスク パターン ケンサ ノ ジドウカ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
後藤宣之 [著]
Author Heading
後藤, 宣之 ゴトウ, ノブユキ
Extent
冊
Degree Grantor
東京大学
Date Granted
昭和61年3月20日
Date Granted (W3CDTF)
1986
Dissertation Number
乙第7793号