分子線エピタキシャル法による化合物半導体薄膜の成長過程 : InSb薄膜のヘテロ、ホモ-エピタキシャル成長
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ブンシセン エピタキシャルホウ ニ ヨル カゴウブツ ハンドウタイ ハクマク ノ セイチョウ カテイ : InSb ハクマク ノ ヘテロ ホモ - エピタキシャル セイチョウ
- Author/Editor
- 矢田雅規 [著]
- Author Heading
- 矢田, 雅規 ヤタ, マサノリ
- Degree Grantor
- 早稲田大学
- Date Granted
- 昭和62年10月15日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1987
- Dissertation Number
- 甲第735号
- Degree Type
- 工学博士