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Ionized cluster beam techniques : formation of cluster beams by vaporized solid materials and their applications to film depositions

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Material Type: 博士論文
Title: Ionized cluster beam techniques : formation of cluster beams by vaporized solid materials and their applications to film depositions
Author/Editor: 臼井博明 [著]
Author Heading: 臼井, 博明ウスイ, ヒロアキ
Alternative Title: クラスターイオンビーム技術 : 蒸気化固体物質によるクラスタービームの生成と、その薄膜形成への応用クラスターイオンビームギジュツ : ジョウキカコタイブッシツニヨルクラスタービームノセイセイトソノハクマクケイセイエノオウヨウ
Degree grantor/type: 京都大学
Date Granted: 昭和63年3月23日
Date Granted (W3CDTF): 1988
Dissertation Number: 甲第3986号
Degree Type: 工学博士
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
NDLC: UT51
UT31
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-63-J220
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000200184
http://id.ndl.go.jp/bib/000000200184
Bibliographic Record Category (NDL): 213