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博士論文

Ionized cluster beam techniques : formation of cluster beams by vaporized solid materials and their applications to film depositions

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Ionized cluster beam techniques : formation of cluster beams by vaporized solid materials and their applications to film depositions

Call No. (NDL)
UT51-63-J220
Bibliographic ID of National Diet Library
000000200184
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/12515375
Material type
博士論文
Author
臼井博明 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
京都大学,工学博士
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Note (General):

博士論文

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Author/Editor
臼井博明 [著]
Author Heading
臼井, 博明 ウスイ, ヒロアキ
Alternative Title
クラスターイオンビーム技術 : 蒸気化固体物質によるクラスタービームの生成と、その薄膜形成への応用 クラスター イオン ビーム ギジュツ : ジョウキカ コタイ ブッシツ ニ ヨル クラスター ビーム ノ セイセイ ト ソノ ハクマク ケイセイ エ ノ オウヨウ
Degree grantor/type
京都大学
Date Granted
昭和63年3月23日
Date Granted (W3CDTF)
1988
Dissertation Number
甲第3986号
Degree Type
工学博士