集束イオンビームを用いた微細加工に関する研究
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- シュウソク イオン ビーム オ モチイタ ビサイ カコウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 森本博明 [著]
- Author Heading
- 森本, 博明 モリモト, ヒロアキ
- Degree grantor/type
- 京都大学
- Date Granted
- 昭和63年3月23日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1988
- Dissertation Number
- 乙第6492号
- Degree Type
- 工学博士