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半導体デバイス用アルミナセラミック基板の寸法精度向上とメタライゼーションに関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 半導体デバイス用アルミナセラミック基板の寸法精度向上とメタライゼーションに関する研究
Title Transcription: ハンドウタイデバイスヨウアルミナセラミックキバンノスンポウセイドコウジョウトメタライゼーションニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 大塚寛治 [著]
Author Heading: 大塚, 寛治オオツカ, カンジ
Degree grantor/type: 東京工業大学
Date Granted: 昭和62年6月30日
Date Granted (W3CDTF): 1987
Dissertation Number: 乙第1702号
Degree Type: 工学博士
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
NDLC: UT51
UT31
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-63-Q325
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000205081
http://id.ndl.go.jp/bib/000000205081
Bibliographic Record Category (NDL): 213