Studies of oxidation-induced stacking faults in silicon
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Author/Editor
- 早藤貴範 [著]
- Author Heading
- 早藤, 貴範 ハヤフジ, ヨシノリ
- Extent
- 冊
- Alternative Title
- シリコン結晶の熱酸化積層欠陥の研究 シリコン ケッショウ ノ ネツ サンカ セキソウ ケッカン ノ ケンキュウ
- Degree grantor/type
- 関西学院大学
- Date Granted
- 昭和59年3月27日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1984
- Dissertation Number
- 乙第101号