博士論文
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二次イオン質量分析法による半導体材料の評価に関する研究

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二次イオン質量分析法による半導体材料の評価に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-63-U121
Bibliographic ID of National Diet Library
000000215743
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/12521314
Material type
博士論文
Author
本間芳和 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東京大学,工学博士
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博士論文

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title Transcription
ニジ イオン シツリョウ ブンセキホウ ニ ヨル ハンドウタイ ザイリョウ ノ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
本間芳和 [著]
Author Heading
本間, 芳和 ホンマ, ヨシカズ
Degree grantor/type
東京大学
Date Granted
昭和62年7月9日
Date Granted (W3CDTF)
1987
Dissertation Number
乙第8466号
Degree Type
工学博士