博士論文
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窒素イオン打込みSiおよびGaPの損傷とその回復過程に関する研究

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窒素イオン打込みSiおよびGaPの損傷とその回復過程に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-89-L435
Bibliographic ID of National Diet Library
000000221192
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/11567287
Material type
博士論文
Author
松森徳衛 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東海大学,工学博士
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博士論文

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title Transcription
チッソ イオン ウチコミ Si オヨビ GaP ノ ソンショウ ト ソノ カイフク カテイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
松森徳衛 [著]
Author Heading
松森, 徳衛 マツモリ, トクエ
Degree grantor/type
東海大学
Date Granted
平成1年3月25日
Date Granted (W3CDTF)
1989
Dissertation Number
乙第96号
Degree Type
工学博士