イオン注入によるSi中の不純物分布制御とその応用に関する研究
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- イオン チュウニュウ ニ ヨル Siチュウ ノ フジュンブツ ブンプ セイギョ ト ソノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 三宅雅保 [著]
- Author Heading
- 三宅, 雅保 ミヤケ, マサヤス
- Degree grantor/type
- 京都大学
- Date Granted
- 平成1年5月23日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1989
- Dissertation Number
- 乙第6903号
- Degree Type
- 工学博士