マイクロ・スパッタリング装置の開発とその応用に関する研究

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マイクロ・スパッタリング装置の開発とその応用に関する研究

Call No. (NDL): UT51-89-P193
Bibliographic ID of National Diet Library: 000000222312
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11567615

Material type: 博士論文

Author: 西川英一 [著]

Publisher: -

Publication date: -

Material Format: Paper・Digital

Capacity, size, etc.: -

Name of awarding university/degree: 東京理科大学,工学博士

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper Digital

Material Type: 博士論文
Title: マイクロ・スパッタリング装置の開発とその応用に関する研究
Title Transcription: マイクロスパッタリングソウチノカイハツトソノオウヨウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 西川英一 [著]
Author Heading: 西川, 英一ニシカワ, エイイチ
Degree grantor/type: 東京理科大学
Date Granted: 平成1年3月20日
Date Granted (W3CDTF): 1989
Dissertation Number: 甲第135号
Degree Type: 工学博士
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
NDLC: UT51
UT31
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-89-P193
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000222312
http://id.ndl.go.jp/bib/000000222312
Bibliographic Record Category (NDL): 213