マイクロ・スパッタリング装置の開発とその応用に関する研究
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- マイクロ スパッタリング ソウチ ノ カイハツ ト ソノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 西川英一 [著]
- Author Heading
- 西川, 英一 ニシカワ, エイイチ
- Degree grantor/type
- 東京理科大学
- Date Granted
- 平成1年3月20日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1989
- Dissertation Number
- 甲第135号
- Degree Type
- 工学博士