博士論文
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微細パターン転写を目的とする電子線・紫外線感応性高分子の基礎的研究

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微細パターン転写を目的とする電子線・紫外線感応性高分子の基礎的研究

Call No. (NDL)
UT51-89-P211
Bibliographic ID of National Diet Library
000000222330
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/11600575
Material type
博士論文
Author
佐伯英夫 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東京理科大学,理学博士
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博士論文

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title Transcription
ビサイ パターン テンシャ オ モクテキ ト スル デンシセン シガイセン カンノウセイ コウブンシ ノ キソテキ ケンキュウ
Author/Editor
佐伯英夫 [著]
Author Heading
佐伯, 英夫 サエキ, ヒデオ
Degree grantor/type
東京理科大学
Date Granted
平成1年3月20日
Date Granted (W3CDTF)
1989
Dissertation Number
乙第282号
Degree Type
理学博士