マイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド合成に関する研究
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- マイクロハ プラズマ CVDホウ ニ ヨル ダイヤモンド ゴウセイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 陳家富 [著]
- Author Heading
- 陳, 家富 チン, カフ
- Degree grantor/type
- 東海大学
- Date Granted
- 平成1年9月19日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1989
- Dissertation Number
- 甲第123号
- Degree Type
- 工学博士