高エネルギーイオンマイクロプローブによる微小構造の非破壊三次元分析法の研究
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- コウエネルギー イオン マイクロプローブ ニ ヨル ビショウ コウゾウ ノ ヒハカイ サンジゲン ブンセキホウ ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 木野村淳 [著]
- Author Heading
- 木野村, 淳 キノムラ, アツシ
- Degree Grantor
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成2年3月24日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1990
- Dissertation Number
- 甲第4181号
- Degree Type
- 工学博士