反応性イオンビームエッチングを用いたGaAsとAlGaAsのドライエッチングの研究
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ハンノウセイ イオン ビーム エッチング オ モチイタ GaAs ト AlGaAs ノ ドライ エッチング ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 菅田純雄 [著]
- Author Heading
- 菅田, 純雄 スガタ, スミオ
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成2年3月14日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1990
- Dissertation Number
- 乙第5002号
- Degree Type
- 工学博士