GaAs化合物半導体中への電子ビームドーピングに関する研究
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- GaAs カゴウブツ ハンドウタイチュウ エ ノ デンシ ビーム ドーピング ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 竹田明弘 [著]
- Author Heading
- 竹田, 明弘 タケダ, アキヒロ
- Degree grantor/type
- 名古屋工業大学
- Date Granted
- 平成2年3月23日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1990
- Dissertation Number
- 甲第37号
- Degree Type
- 工学博士