博士論文
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CVD法によるSi-Ge系薄膜の形成とその応用に関する研究

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CVD法によるSi-Ge系薄膜の形成とその応用に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-90-E335
Bibliographic ID of National Diet Library
000000230134
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/11391140
Material type
博士論文
Author
程敏林 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東北大学,工学博士
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博士論文

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title Transcription
CVDホウ ニ ヨル Si-Geケイ ハクマク ノ ケイセイ ト ソノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
程敏林 [著]
Author Heading
程, 敏林 テイ, ビンリン
Degree grantor/type
東北大学
Date Granted
平成2年3月28日
Date Granted (W3CDTF)
1990
Dissertation Number
甲第4209号
Degree Type
工学博士