博士論文
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プラズマプロセスによる(In,Ga)As系半導体の成長と評価

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プラズマプロセスによる(In,Ga)As系半導体の成長と評価

Call No. (NDL)
UT51-90-E346
Bibliographic ID of National Diet Library
000000230145
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/11391151
Material type
博士論文
Author
方隼飛 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東北大学,工学博士
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博士論文

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title Transcription
プラズマ プロセス ニ ヨル (In , Ga) Asケイ ハンドウタイ ノ セイチョウ ト ヒョウカ
Author/Editor
方隼飛 [著]
Author Heading
方, 隼飛 ホウ, シュンヒ
Degree grantor/type
東北大学
Date Granted
平成2年3月28日
Date Granted (W3CDTF)
1990
Dissertation Number
甲第4220号
Degree Type
工学博士