高性能エピタキシァルシリコン成長とデバイス応用に関する研究
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- コウセイノウ エピタキシァル シリコン セイチョウ ト デバイス オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 吉武春二 [著]
- Author Heading
- 吉武, 春二 ヨシタケ, シュンジ
- Degree grantor/type
- 東北大学
- Date Granted
- 平成2年3月28日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1990
- Dissertation Number
- 甲第4222号
- Degree Type
- 工学博士