新しい高効率紫外・真空紫外マイクロ波放電励起エキシマランプに関する研究
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- アタラシイ コウコウリツ シガイ シンクウ シガイ マイクロハ ホウデン レイキ エキシマ ランプ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 熊谷寛 [著]
- Author Heading
- 熊谷, 寛 クマガイ, ヒロシ
- Degree grantor/type
- 慶應義塾大学
- Date Granted
- 平成2年3月31日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1990
- Dissertation Number
- 甲第1014号
- Degree Type
- 工学博士