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博士論文

SiH[4]-希ガス混合気体中の電子スウォーム特性と電子衝突断面積に関する研究

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SiH[4]-希ガス混合気体中の電子スウォーム特性と電子衝突断面積に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-90-J94
Bibliographic ID of National Diet Library
000000230426
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/11392792
Material type
博士論文
Author
倉知正 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
慶應義塾大学,工学博士
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博士論文

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
SiH[4]-希ガス混合気体中の電子スウォーム特性と電子衝突断面積に関する研究
Title Transcription
SiH4 - キガス コンゴウ キタイチュウ ノ デンシ スウォーム トクセイ ト デンシ ショウトツ ダンメンセキ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
倉知正 [著]
Author Heading
倉知, 正 クラチ, マサシ
Degree grantor/type
慶應義塾大学
Date Granted
平成2年3月31日
Date Granted (W3CDTF)
1990
Dissertation Number
甲第1015号
Degree Type
工学博士