イオンビームプロセス技術の研究
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title
- Title Transcription
- イオン ビーム プロセス ギジュツ ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 金山敏彦 [著]
- Author Heading
- 金山, 敏彦 カナヤマ, トシヒコ
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成2年6月22日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1990
- Dissertation Number
- 乙第5063号
- Degree Type
- 工学博士