電子サイクロトロン共鳴プラズマを用いた薄膜作製とその応用に関する研究
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- デンシ サイクロトロン キョウメイ プラズマ オ モチイタ ハクマク サクセイ ト ソノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 真鍋由雄 [著]
- Author Heading
- 真鍋, 由雄 マナベ, ヨシオ
- Degree grantor/type
- 九州大学
- Date Granted
- 平成2年4月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1990
- Dissertation Number
- 乙第4732号
- Degree Type
- 工学博士