マイクロ波プラズマCVD法によるシリコン系アモルファス膜の形成に関する研究
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- マイクロハ プラズマ CVDホウ ニ ヨル シリコンケイ アモルファスマク ノ ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 渡辺猛志 [著]
- Author Heading
- 渡辺, 猛志 ワタナベ, タケシ
- Degree grantor/type
- 東京工業大学
- Date Granted
- 平成1年7月31日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1989
- Dissertation Number
- 乙第1962号
- Degree Type
- 工学博士