博士論文
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極短ゲートMOS電界効果トランジスタ用ゲート酸化膜と超薄膜SOI構造の研究

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極短ゲートMOS電界効果トランジスタ用ゲート酸化膜と超薄膜SOI構造の研究

Call No. (NDL)
UT51-90-T284
Bibliographic ID of National Diet Library
000000235392
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/11431642
Material type
博士論文
Author
三木浩史 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東京大学,工学博士
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博士論文

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title Transcription
ゴクタン ゲート MOS デンカイ コウカ トランジスタヨウ ゲート サンカマク ト チョウハクマク SOI コウゾウ ノ ケンキュウ
Author/Editor
三木浩史 [著]
Author Heading
三木, 浩史 ミキ, ヒロシ
Degree grantor/type
東京大学
Date Granted
平成2年3月29日
Date Granted (W3CDTF)
1990
Dissertation Number
甲第8567号
Degree Type
工学博士