ガスソース分子線エピタキシャル法による3C-SiCの低温成長に関する研究
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ガス ソース ブンシセン エピタキシャルホウ ニ ヨル 3C-SiC ノ テイオン セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 本山慎一 [著]
- Author Heading
- 本山, 慎一 モトヤマ, シンイチ
- Degree grantor/type
- 長岡技術科学大学
- Date Granted
- 平成2年3月26日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1990
- Dissertation Number
- 乙第6号
- Degree Type
- 工学博士