半導体デバイス形成用シリコンナイトライド薄膜に関する研究
Available with Digitized Contents Transmission Service
Find on the publisher's website
国立国会図書館デジタルコレクション
Available for viewing via the Digitized Contents Transmission Service for Individuals to official registered users of the NDL, who resides in Japan.
Search by Bookstore
Read this material in an accessible format.
Search by Bookstore
Read in Disability Resources
- Mina Search
- プレーンテキスト
Registered users of Mina Search can download or stream this content.
Bibliographic Record
You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.
- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ハンドウタイ デバイス ケイセイヨウ シリコン ナイトライド ハクマク ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 安井寛治 [著]
- Author Heading
- 安井, 寛治 ヤスイ, カンジ
- Degree grantor/type
- 長岡技術科学大学
- Date Granted
- 平成2年9月19日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1990
- Dissertation Number
- 乙第10号
- Degree Type
- 工学博士