MOS電界効果トランジスタ用シリコン酸化膜の欠陥に関する研究
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- MOS デンカイ コウカ トランジスタヨウ シリコン サンカマク ノ ケッカン ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 逸見学 [著]
- Author Heading
- 逸見, 学 イツミ, マナブ
- Degree grantor/type
- 東京大学
- Date Granted
- 平成1年5月18日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1989
- Dissertation Number
- 乙第9296号
- Degree Type
- 工学博士