プラズマ化学気相成長法における気相プロセス診断法の研究
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- プラズマ カガク キソウ セイチョウホウ ニ オケル キソウ プロセス シンダンホウ ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 秦信宏 [著]
- Author Heading
- 秦, 信宏 ハタ, ノブヒロ
- Degree grantor/type
- 東京大学
- Date Granted
- 平成1年12月14日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1989
- Dissertation Number
- 乙第9501号
- Degree Type
- 工学博士