プラズマ化学気相成長法における気相プロセス診断法の研究

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国立国会図書館デジタルコレクション

プラズマ化学気相成長法における気相プロセス診断法の研究

Call No. (NDL): UT51-90-U243
Bibliographic ID of National Diet Library: 000000236101
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/11432049

Material type: 博士論文

Author: 秦信宏 [著]

Publisher: -

Publication date: -

Material Format: Paper・Digital

Capacity, size, etc.: -

Name of awarding university/degree: 東京大学,工学博士

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Note (General)：: 博士論文

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Paper Digital

Material Type: 博士論文
Title: プラズマ化学気相成長法における気相プロセス診断法の研究
Title Transcription: プラズマカガクキソウセイチョウホウニオケルキソウプロセスシンダンホウノケンキュウ
Author/Editor: 秦信宏 [著]
Author Heading: 秦, 信宏ハタ, ノブヒロ
Degree grantor/type: 東京大学
Date Granted: 平成1年12月14日
Date Granted (W3CDTF): 1989
Dissertation Number: 乙第9501号
Degree Type: 工学博士
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
NDLC: UT51
UT31
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-90-U243
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000236101
http://id.ndl.go.jp/bib/000000236101
Bibliographic Record Category (NDL): 213